電子光學潔凈車間主要是用于生產(chǎn)電子和光學產(chǎn)品的無塵車間。由于電子產(chǎn)品和光學產(chǎn)品對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高,因此需要在生產(chǎn)過程中采用潔凈室技術,以保證產(chǎn)品的質(zhì)量和穩(wěn)定性。電子光學潔凈車間建設設計需注意:
1:平面由工藝決定,電子凈化車間的工藝布局應適應電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求;
2:主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系;
3:大型電子行業(yè)潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造;
4:應考慮大型生產(chǎn)工藝設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口;
5:電子凈化車間按二級耐火等級設計;
6:(特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與潔凈室(區(qū))分開,該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開的,氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3M,儲存區(qū)設置的雨篷應不低于3.5M;
7:電子凈化車間的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料;
8:電子光學潔凈室車間允許設空氣吹淋室,這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數(shù)為30人一間設計,當工作人員超過5人時,應設旁門,當人數(shù)太多或為了縮短通過時間,也可設遂道式吹淋室;
9:對于潔凈等級高的潔凈車間,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具;
10:電子潔凈室車間常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設置防靜電環(huán)境,以便抑制靜電的產(chǎn)生,將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除;
11:電子潔凈室車間有對防微振的特殊要求,在廠地環(huán)境上應避開振動源;
12:電子凈化車間除有一般給排水要求外,對超大規(guī)格集成電路的用水也有標準;
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